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[CFD-ACE+] 저압챔버 해석 프로세스
작성자 관리자
날짜 2020-04-16 17:00:22
조회수 1606
반도체 진공 챔버 해석 프로세스를 간략히 정리한 자료입니다.
1. 저압유동해석
2. 자연대류 및 강제대류
3. 회전체 해석 적용방법
4. 복사
5. 화학종 혼화 및 반응
6. 플라즈마
자세한 사항은 파일을 참고해 주세요.
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