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[CFD-ACE+] Capacitively Coupled Plasma - Edge ring effects

작성자 관리자 날짜 2024-01-11 16:08:19 조회수 151

Edge Ring 높이에 따른 IEADs 자료를 통해 아래 내용을 확인해 보시기 바랍니다.

 - Plasma Field & Sheath layer thickness

 - Ion Angular Distribution(edge)

 - Ion Energy Distribution(edge)

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